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真空接合、真空封着、真空封止、真空乾燥、卓上真空装置、真空関連装置と部品の設計試作、ITOガラス加工、蛍光体印刷・成膜のシィアイテクノ

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〒224-0023 横浜市都筑区東山田1-1-43

真空封止デバイスの試作

FEL(Field Emission Lamp)及びNM-UVL(無水銀紫外線発光管)の開発試作において、高真空槽内で結晶性無鉛フリットガラスによりガラス容器を気密接合する、真空接合技術が完成いたしました。 完成したガラス容器の真空接合技術を用いて、各種真空封止デバイスの試作品製作を承ります。




標準在庫のガラス容器(2級硬質ガラス材)

FEL


ステムベース:  外形φ40、リードピン×8Pin
円筒ガラス:   外形φ40×L17.5(またはL22.5)
天板ガラス:   外形φ40×t3.0

専用のフリットガラスと試作用真空接合装置により、1E-4Pa未満の高真空槽内で加熱接合します。









真空接合装置

真空ヒーター


真空槽:    内径φ200×180H、 SUS304
到達真空度:  1E-4Pa未満
真空ヒーター: 自社製 250W/AC100V(常用電力)
        *装置全体の消費電力=400Wmax
接合治具:   自社製、 無酸素銅

自社開発した長寿命真空ヒーターと真空接合治具により、高真空槽内でガラス容器をフリット接合することが出来ます。





標準在庫部品を使用した試作品製作の他に、専用部品と接合装置を設計試作する、受託開発も承ります。



仕様書 真空封止デバイスの試作カタログ(PDFファイル:242kB)

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