真空接合、真空封着、真空封止、真空乾燥、卓上真空装置、真空関連装置と部品の設計試作、ITOガラス加工、蛍光体印刷・成膜のシィアイテクノ

・真空槽と排気装置をセットにしました。
・自動吸気バルブと手動排気バルブを実装し、任意の圧力で、真空
  槽内を希ガスに置換可能。
・試料投入に便利な窓付ロードロックドアを採用。
・到達真空度：　1E-6mbar (1E-4Pa) 以下
・希ガス置換圧力：100〜10,000Pa程度（応相談）
・ワンタッチスイッチで簡単起動。
・フルレンジゲージとキャパシタンスゲージを装備。
・電源電圧：　AC100V　(単相AC200V対応可)
・消費電力（通常運転時）：　150W程度
・総重量：　約50kg〜60kg
・装置全体の設置スペース：　650（W）×400（D）×360（H）
・参考価格帯(税別)：　特注部品の製作を除く参考の価格帯です。
　　　　一式、￥5,000,000〜￥6,500,000
　　　　※真空槽本体は、内径φ150又はφ200の何れかを選択。

ガス置換対応卓上真空装置カタログ（PDFファイル：223kB）

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