真空接合、真空封着、真空封止、真空乾燥、卓上真空装置、真空関連装置と部品の設計試作、ITOガラス加工、蛍光体印刷・成膜のシィアイテクノ

大型真空乾燥炉

　・JIS500Aサイズ（内径約φ500）の大型真空槽（JIS300Aサイズでの対応も可)
　・φ300のSiウェハを搭載できるヒーターテーブルを内装
　・約70kgの上扉を片手で操作できる開閉補助機構(キャップバランサー)を搭載
　・到達真空度：　10Pa以下/5分以内 (排気能力16ｌ/minのスクロールポンプ接続時)
　・乾燥温度100℃〜200℃の加熱ヒーターを内装
　・ヒーター電源：　AC100V、1kW
　・オプションで真空排気システムとの接続可
　・ICF70ポート（3か所）へ電流導入端子・リークバルブ等任意の真空部品を取付け可
　・真空乾燥炉の設置スペース：　約870（W）×640（D）×410（H）　総重量＝約250kg
　・参考価格帯(税別)：　オプションの真空排気システムを除く参考の価格帯です。
　　1式、￥4,000,000〜￥5,000,000
　・通常納期は、ご注文後2.5〜3か月

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大型真空乾燥炉カタログ（PDFファイル：129kB）

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