真空接合、真空封着、真空封止、真空乾燥、卓上真空装置、真空関連装置と部品の設計試作、ITOガラス加工、蛍光体印刷・成膜のシィアイテクノ

卓上真空装置

・真空槽と排気装置をセットにしました。
・試料投入に便利な窓付ロードロックドアを採用。
・ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプのセットで完全ドライ。
・到達真空度：　1E-6mbar (1E-4Pa) 以下
・フルレンジゲージを標準装備。
・ワンタッチスイッチで簡単起動。
・電源電圧：　AC100V　(単相AC200V対応可)
・消費電力：　75W（待機時8W、起動時145W）
・総重量：　約50kg
・装置全体の設置スペース：　650（W）×400（D）×360（H）
・参考価格帯(税別)：　特注部品の製作を除く参考の価格帯です。
　1式、￥2,700,000〜￥3,500,000
　※真空槽本体は、内径φ150又はφ200の何れかを選択。

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卓上真空装置カタログ（PDFファイル：129kB）

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